作者:标准资料网 时间:2024-05-22 12:36:09   浏览:9179   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Semiconductordevices.Micro-electromechanicaldevices.Micro-pillarcompressiontestforMEMSmaterials
【原文标准名称】:半导体装置.微电子机械装置.MEMS材料的微型柱压缩试验
【标准号】:BSEN62047-10-2011
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2011-09-30
【实施或试行日期】:2011-09-30
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:Compression;Compressionstresses;Compressiontests;Electricalengineering;Materials;Microelectronics;Microsystemtechniques;Pressuretests;Properties;Samples;Semiconductordevices;Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingdevices;Testingsystem;Thinfilms;Thin-filmdevices;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_220_01
【页数】:18P;A4
【正文语种】:英语